氦泄漏测试系统概 观 产品功能仕様概要Helium填充 | 室外 | 室内 |
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型式 | e050 | i200 | i100 | i050 |
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室数(pcs) | 2 | 2 | 2 | 2 |
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室容積(L) | 50 | 200 | 100 | 50 |
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室内在的维度(mm) | W400*D300*H400 | W1000*D300*H700 | W800*D300*H400 | W400*D300*H400 |
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试件数量(pcs) | 1 | 1 to 4 | 1 to 2 | 1 |
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时间(sec) | <30 | <60 | <50 | <30 |
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使用 | <30 | <60 | <50 | <30 |
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检查水平(Pa㎥/sec) | 1.0E-7 to 1.0E-4 |
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试件内部压力(MPa) | <5 |
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关键部件 | Helium Detector:MSE-2401(干泵规格)1台 粗加工泵:油旋转泵5000L /min 2台 探测器并联排气泵:干泵5000L /min 1台 试件排气泵:油旋转泵300L /min 2台 外部校准泄漏 1个 |
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试件连接配件 | 不包括 |
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Option | 试件连接配件,远程诊断系统,数据管理系统等 |
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